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微納結構三維形貌測量儀

簡要描述:微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法,實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結果。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-06-04
  • 訪  問  量:2662

詳細介紹

品牌FLOWX產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域環(huán)保,電子

 

系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法,實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本產(chǎn)品具有以下特點:
高的測量精度:基于干涉測量原理,測量重復性達到1nm。
大的測量范圍:采用*掃描系統(tǒng),在保證納米定位精度的同時,單場掃描范圍可達到10mm,結合白光光源重構方法,可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動測量:標配自動檢焦功能,結合自動調(diào)焦裝置,無需復雜調(diào)節(jié)過程,一鍵操作即可完成調(diào)焦、檢測全過程。選配自動二維平臺,可自動完成大面積三維數(shù)據(jù)拼接操作
高集成度、安裝簡便:整機集成為統(tǒng)一整體,僅需外接220v電源,通過USB3.0 數(shù)據(jù)傳輸,即可完成數(shù)據(jù)傳輸與測量
具有高的性價比:保證系統(tǒng)性能的同時,降低制造成本
靈活性高:可根據(jù)用戶需求,對系統(tǒng)進行改進,滿足工業(yè)不同應用場景需求。

微納結構三維形貌測量儀技術參數(shù):

型號

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

調(diào)焦方式

自動

縱向掃描范圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調(diào)整范圍

縱向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分辨率

650nm(20倍物鏡)

臺階測量重復性

1nm

XY樣品臺行程

100mm×100mm(手動)

Z軸行程

50mm(自動)

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

數(shù)據(jù)傳輸接口

USB 3.0

 

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